특징
극저온(10K)과 초고진공(～1012 Torr)의 조건에서 탐침을 이용 표면이미지 및 물성 측정

구성및성능
극저온(10K), 초고진공(～1012 Torr), 나노스케일 측정(0.1 nm), Ion Pump, Chamber

활용분야
각종 샘플의 나노스케일 영역에서의 표면이미지 측정, 터널전류 측정, 전기적물성 측정

<원리>
STM으로 약기. 주사형 탐침현미경의 일종으로 터널전류를 이용하여 시료 표면의 형상을 분석하는 현미경. 도전성 시료 사이에 흐르는 터널전류가 일정하도록 주사한 탐침의상하방향의 움직임에서 시료 표면의 원자 수준의 입체구조를알아낼 수 있다.
대기중에서 관찰할 수 있는 것이 특징이지만,초고진공환경 하에서 좀더 청정한 표면을 관찰할 수 있다.
탐침과 시료 사이의 원자간 힘을 이용한 원자간력현미경에서는비도전성 시료도 분석할 수 있다.