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- i-Tube No. 0810-C-0095
- NTIS No NFEC-2010-12-120160
- 설치기관 포항공과대학교산학협력단
- 주소 경상북도 포항시 남구 청암로 77,포항공과대학교(효자동)
- 담당자 김태완 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Suss Microtec
-
모델 명
MA8
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2008-10-31
취득금액452,667,493원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료70,000원
장비설명
Near Field Holography
Submicron Printing
Thick Resist / High Topography
UV Embossing or Imprint Lithography
Laser Pre-Bonding
Direct Bonding
Wafer Size : 2inch ~200mm
Substrate Size : 1×1inch ~ 8×8inch
Mask Size : up to 9×9 standard
Exposure Modes : Large Gap, Proximity and Contact
Accuracy TSA : down to＜ 0.5㎛
BSA : down to 1㎛
Movement Range : X (±10mm), Y(±5mm), Θ(±4˚)
Mask Loading → Wafer Loading → Exposure
장비 구성 및 성능
Near Field Holography
Submicron Printing
Thick Resist / High Topography
UV Embossing or Imprint Lithography
Laser Pre-Bonding
Direct Bonding
Wafer Size : 2inch ~200mm
Substrate Size : 1×1inch ~ 8×8inch
Mask Size : up to 9×9 standard
Exposure Modes : Large Gap Proximity and Contact
Accuracy TSA : down to＜ 0.5㎛
BSA : down to 1㎛
Movement Range : X (±10mm) Y(±5mm) Θ(±4˚)
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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