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- i-Tube No. 0803-C-0121
- NTIS No NFEC-2008-06-056052
- 설치기관 포항공과대학교산학협력단
- 주소 경상북도 포항시 남구 청암로 77,포항공과대학교(효자동)
- 담당자 김태완 (T. )
- 매뉴얼
-
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장비정보
-
제작사
CND PLUS
-
모델 명
Track
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
-
취득일
2008-03-27
취득금액273,900,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
일별
장비 사용료40,000원
장비설명
특징
PR 작업을 할 수 있는 설비
구성및성능
PR 개발과 나노패턴형성을 위한 설비로 coating developing을 포함하는 Clean Facility
활용분야
PR coating, soft baking, substrate cleaning
특징
PR 작업을 할 수 있는 설비
구성및성능
PR 개발과 나노패턴형성을 위한 설비로 coating developing을 포함하는 Clean Facility
활용분야
PR coating, soft baking, substrate cleaning 특징
PR 작업을 할 수 있는 설비
구성및성능
PR 개발과 나노패턴형성을 위한 설비로 coating developing을 포함하는 Clean Facility
활용분야
PR coating, soft baking, substrate cleaning
장비 구성 및 성능
구성및성능
PR 개발과 나노패턴형성을 위한 설비로 coating developing을 포함하는 Clean Facility
활용분야
PR coating, soft baking, substrate cleaning
특징
PR 작업을 할 수 있는 설비
구성및성능
PR 개발과 나노패턴형성을 위한 설비로 coating developing을 포함하는 Clean Facility
활용분야
PR coating, soft baking, substrate cleaning 특징
PR 작업을 할 수 있는 설비
구성및성능
PR 개발과 나노패턴형성을 위한 설비로 coating developing을 포함하는 Clean Facility
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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