맞춤추천
공동활용장비
- 장비찾기
- 공동활용장비
- Photo Base System
- 감광막 도포 시스템
- i-Tube No. 0801-C-0116
- NTIS No NFEC-2008-06-071059
- 설치기관 포항공과대학교산학협력단
- 주소 경상북도 포항시 남구 청암로 77,포항공과대학교(효자동)
- 담당자 김태완 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Sawatec
-
모델 명
LSM 250
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-01-31
취득금액642,321,971원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료40,000원
장비설명
특징
PR spin coating , Hot/Cool plater
구성및성능
Processing system for photo resist spin coating system ,Hot plate system ,oven
사양
조각~8inch
활용분야
PR spin Coating, Bake
장비 구성 및 성능
감광막 도포 시스템(PR Spin Coater)의 구성 및 성능은 다음과 같습니다.
Processing system for photo resist spin coating system Hot plate system oven 사양
조각~8inch
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
Copyrightⓒ 2020 KIAT All rights reserved.
