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- i-Tube No. 0812-C-0184
- NTIS No NFEC-2010-01-077772
- 설치기관 한국교통대학교산학협력단
- 주소 충청북도 충주시 대소원면 요도천변길 200-25,한국교통대학교 공동실험관(검단리)
- 담당자 권준철 (T. 043-841-5807 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
ForAll
-
모델 명
ForAll-RFS
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-12-10
취득금액104,812,400원
-
인증정보
없음
-
기능
초소형 마이크로스피커의 제작을 위한 압전박막과 전극물질의 증착/에너지 수확소자의 제작
압전형 마이크로스피커 제작- 에너지 수확소자 제작- 마이크로폰 및 펌프 개발-태양광 발전용 기능성 물질 -
장비 상세설명
- 압전형 마이크로스피커 제작 - 에너지 수확소자 제작 - 마이크로폰 및 펌프 개발 - 태양광 발전용 기능성 물질
초소형 마이크로스피커의 제작을 위한 압전막막과 전극물질의 증착/에너지 수확소자의 제작
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료20,000원
장비설명
초소형 마이크로스피커의 제작을 위한 압전박막과 전극물질의 증착/에너지 수확소자의 제작
압전형 마이크로스피커 제작- 에너지 수확소자 제작- 마이크로폰 및 펌프 개발-태양광 발전용 기능성 물질
장비 구성 및 성능
1)PROCESS CHAMBER MODULE2) POWER SUPPLY MODULE3) VACUUM MODULE 4) GAS DELIVERY MODULE5) LOADLOCK MODULE6) SYSTEM CONTROL MODULE7) FRAME MODULE 등
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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