본 장비는 3 축 가공 장비로써 Integral abrasive auto-feed 시스템, Integral vacuum 시스템, 자동화 lapping plate flatness 제어기, 자동 가공물 두께 제어장치로 구성되어져 있으며, 짧은 시간에 고품질의 신뢰성을 갖는 가공물을 얻는데 매우 적합하도록 설계되어져 있다. 정반의 자동 flatness 제어 모니터링 시스템은 실시간으로 정반의 상태를 나타내주며, 설정을 통해 flat, concave, convex의 정반 상태를 만들어 줄 수 있으며, +/- 1 um의 정밀도로 유지가 가능하다. 따라서 각종 금속, 산화물, 질화물, 탄화물 등의 평탄화 작업 및 thinning 공정에서 매우 탁월한 성능을 발휘한다.