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- i-Tube No. 0801-A-0228
- NTIS No NFEC-2008-08-063883
-
설치기관
신뢰성연구센터
(한국전자기술연구원)
- 주소 경기도 성남시 분당구 새나리로 25,(야탑동)
- 담당자 이주호 (T. 031-789-7282 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
FEI
-
모델 명
Quanta 3D FEG
내용연수10년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
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취득일
2008-01-15
취득금액903,271,078원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료200,000원
장비설명
주사전자현미경에 이온 밀링 또는 증착 기능이 추가된 장비임.
원소성분분석, TEM 시편 제작, PCB 회로 수정에 활용.
장비 구성 및 성능
SE resolution : 3.0 nm
EDS : point, line, mapping analysis
Pt coater 보유 (비전도성 물질 관찰 가능)
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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