특징 본 연구 장비는 UV와 O2를 이용하여 기판의 표면에 있는 유기물을 제거하고 또한 표면 계질을 통하여 물질의 접착력을 향상시켜 소자의 효율을 증가시키기 위한 목적으로 사용되는 장비임. 주로 OLED PLED OPV OTFT 제작에 사용되는 기판의 전처리 공정으로 사용되며 다양한 소자 제작 공정에 사용 가능하다