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- i-Tube No. 0807-C-0169
- NTIS No NFEC-2009-10-075332
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 김일구 (T. 063-219-0013 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
DNK
-
모델 명
MA-5501ML
내용연수9년
-
구분
주장비
용도기타
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표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2008-07-19
취득금액630,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료145,000원
장비설명
Proximity Exposure 방식의 노광기로서 I, g, h-line의 broad한 파장대의 UV 조사 가능. 370x470mm 사이즈의 기판 적용 가능
장비 구성 및 성능
Align accuracy가 ± 1μm 정확도를 가지며, Resolution은 L/S :8/8μm 가능함.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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