맞춤추천
공동활용장비
- 장비찾기
- 공동활용장비
- Coater/Developer
- 현상장비
- i-Tube No. 0807-C-0166
- NTIS No NFEC-2009-10-075329
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 박영민 (T. 063-219-0058 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
에프엔에스테크(주)
-
모델 명
개발장비
내용연수9년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2008-07-10
취득금액647,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료186,000원
장비설명
본 장비는 Spin-coater/Spin-developer/Hot plate/UV treatment/EBR로 이루어져 있으며, 370x470mm (2세대) 기판 대응이 가능한 장비임.
장비 구성 및 성능
Photoresist 및 유기물 코팅이 가능한 Spin-coater, Edge bead 제거를 위한 EBR, Soft Bake or Hard Bake용 Hot Plate 등으로 구성되어 있음.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
Copyrightⓒ 2020 KIAT All rights reserved.
