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- i-Tube No. 0806-D-0192
- NTIS No NFEC-2010-12-119982
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 김현준 (T. 062-605-9282 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
(주)에이아이티
-
모델 명
CMT-SR3000S
내용연수10년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
-
취득일
2008-06-30
취득금액47,490,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료49,000원
장비설명
본 장비는 2세대용 기판 및 웨이퍼의 면저항 및 균일도 분포를 측정하는 장비로써 4개의 프로브를이용하여 2개의 프로브에는 전류를 흘리고 다른 2개의 프로브의 전합강하를 측정하여 면저항 측정이 가능한 장비임.
장비 구성 및 성능
기판 사이즈는 370x470mm이며 면저항 측정 범위는 1mohm/sq~2Mohm/sq임. 저항측정 범위는 10uohm.cm~200Kohm.cm임. 측정정확도는 ±05%의 오차를 가짐.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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