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- i-Tube No. 0803-C-0095
- NTIS No NFEC-2008-08-064919
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 이승현 (T. 063-219-0012 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Bioforece
-
모델 명
Nano eNabler System
내용연수9년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-03-24
취득금액179,300,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료67,000원
장비설명
본 장비는 마이크로 켄텔리버를 이용하여 contact방식의 Quantum/micro dot을 기판 또는 시료 위에 형성할 수 있는 장비로써 dots을 이용하여 line 패턴 프린팅이 가능함.
장비 구성 및 성능
Spot Size : 500nm~20um, Line width : 500nm~20um, Printable Ink Viscosity : ~300cps, Pattening stage length : 500x50mm, Location Resolution : ≤20nm
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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