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- i-Tube No. 0811-Z-0085
- NTIS No
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 경기도 성남시 분당구 새나리로 25,(야탑동)
- 담당자 신진국 (T. 031-789-7450 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
삼성물산(주)
-
모델 명
개발장비외
내용연수10년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2008-11-24
취득금액4,290,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료원
장비설명
크린룸 운영 및 공정장비에 유틸리티를 공급시 필요한 공정지원장비
장비 구성 및 성능
D.I WATER, CHILLER, SCRUBBER, PURIFIER, OAC,AHU,FU,DCC, DRY PUMP, 자동제어(FMS)SYSTEM, 통합안전 System, Moving System
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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