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- i-Tube No. 0802-A-0068
- NTIS No NFEC-2008-06-071080
- 설치기관 전남대학교산학협력단
- 주소 광주 북구 용봉동 전남대학교
- 담당자 류상완 (T. 062-530-3476 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Trion
-
모델 명
Minilock Ⅲ
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
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취득일
2008-02-28
취득금액291,791,910원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료원
장비설명
GaN 박막을 건식식각
장비 구성 및 성능
1. Reactor with 300mm bottom electrode 2. Vacuum load-lock-includes load-lock3. RIE 600 watt, ICP source 1250Watt 등
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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