특징1. 광학 현미경을 이용하여 1K 배 확대하여 LCD 표면의 이물질 확인2. X/Y 축이 이동하면서 LCD 표면의 이물질 확인 가능3. 조작 패널이 전면에 부착되어 있어 빠르고 효율적인 작업이 가능구성및성능Set 구성1) Microscope Frame, MX61LF (1) 2) Light balancing filter, U-25LBD (1) 3) ND filter, U-25ND25 (1) 4) NO filter, U-25ND6 (1) 5) Super widefield trinocular tube, U-SWETTR2 (1) 6) Motorized quituple revolving nosepiece for BD, U-5BDREMC (1) 7) 14 inch X 12 inch stage, MX-SIC1412R2 (1) 8) Glass stage Plate, MX-SPG1412 (1) 9) Single flexible light guide, LG-SF (1) 10) Light source for light guide, LG-SF (1) 11) Light balancing filter 30.5mm dia, 30.5S-LBdD (1) 12) Transmitted illumination unit, MX-TILLB (1) 13) Halogen lamp housing, U-LH100-3 (1) 14) Halogen bulb, JC12V100WHAL-L (2) 15) Halogen bulb, JCR12V100WB (2) 16) Reflected light DIC slider, U-DICR (1) 17) Power cord, UYCP (2) 18) Analyzer slider, U-AN360-3 (1) 19) Mirror unit for incident light DIC observation, U-DIC3 (1) 20) UM Plan Semi Apochromat objective 5X/0.15, W.D. 12.0, MPLFLN5XBD (1) 21) UM Plan Semi Apochromat objective 10X/0.30, W.D. 6.5, MPLFLN10XBD (1) 22) Long working Distance M Plan Semi Apochromat objective 20X/0.40.W.D. 12.0, LMPLFLN20XBD (1) 23) Long working Distance M Plan Semi Apochromat objective 50X/0.50.W.D. 10.6, LMPLFLN50XBD (1) 24) Long working Distance M Plan Semi Apochromat objective 100X/0.80.W.D. 3.3, LMPLFLN100XBD (1) 25) Polarizer slider for reflected illumination tuve, U-PO3 (1) 26) Super Widefield eyepiece 10X, SWH10X-H (2) 27) C-mount adapter, U-TV0.5XC (1) 옵션 1) PC (P4, REM 1G), 19〃 LCD Monitor (LG or HP) (1) 2) Digital camera, DIGICAM2 (1) 3) Image Analyzer Software ScopeEye (1) 4) Vibration isolation systems (1) 활용분야1. LCD 편광판 교체 후 이물질(particle) 크기 확인(샘플 제품 확인시 사용) 2. Tab 본딩 전 수리 가능여부 확인 (패턴 불량검사) 3. Tab 본딩 후 정상부착 검사(5% 오차범위확인) 4. ACF 이방성 전도성필름의 정상 부착 여부 확인(ACF: 클라스와 Tab 접착제) 5. 도전볼 접착상태 확인(도전볼 : 니켈과 금으로 구성되어있으며 3-10uM를 가지고 있는 전기적 신호를 전달하는 알갱이)