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- i-Tube No. 0212-Z-0002
- NTIS No NFEC-2003-07-041119
- 설치기관 한국전자통신연구원
- 주소 대전 유성구 가정동 한국전자통신연구원 가정로 218
- 담당자 배성범 (T. 042-860-1667 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
.
-
모델 명
SpectraGaN
내용연수3년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2002-12-21
취득금액1,228,171,636원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료1,000,000원
장비설명
3족 유기금속원소와 5족 가스소스를 이용하여 화합물 반도체인 GaN를
성장하는 장비이며, 광소자(LED/LD) 및 전자소자(FET)에 사용되는
에피웨이퍼를 성장하는 장비임.
장비 구성 및 성능
* Reactor size : 2"x6, 3"x3, 4"x1
* Temperature : ~ 1200C
* Mo-sources : 8 lines
* Hydride sources : 2 lines
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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