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- Organic Wet Station
- 습식 작업대 (습식 세정장비)
- i-Tube No. 0811-Z-0066
- NTIS No NFEC-2009-10-072393
- 설치기관 성균관대학교산학협력단
- 주소 경기도 수원시 장안구 서부로 2066,성균관대학교(천천동)
- 담당자 김윤식 (T. 031-290-5640 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
에스아이엔지니어링
-
모델 명
Wet Station
내용연수5년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 트랙장비
-
취득일
2008-11-25
취득금액31,900,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
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사용료 형태
건별
장비 사용료0원
장비설명
- 반도체 및 MEMS 공정 시 웨이퍼 세정 및 사진공정 현상 등은 Wet Station을 필수적으로 사용
- Acid용 Wet Station에는 기존 황산 Bath에 SC1 Bath를 추가하여 세정능력을 향상
- Organic용 Wet Station은 초음파 세정이 가능한 중탕 Bath를 설
장비 구성 및 성능
- Acid Organic wet station 독립 제작
- 8인치 대응
- Acid wet station : 황산 Bath SC1 Bath QDR Bath
- Organic : 중탕 Bath QDR Bath
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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