대기압 플라즈마 방식의 Plasma 발생 길이는 350mm 이상플라즈마 발생방식은 direct 글로우 방식Gas Control MFC : Digital 방식.상온 상압에서 구동 가능RF Power Frequency : 13.56 MHz RF Power : 600WPlasma 발생 장치 : 자연점화식Plasma 전극을 고정 시 Sample stage에서 4~5mm의 간격을 유지. 사용가스 : Ar, He, O2, N2, 기타 추가가능.