◆ Z1, Z2축 : 웨이퍼 회전에 의한 인피드방식 (Z1:COURSE GRINDING, Z2:FINE GRINDING)◆ Z3축 : 웨이퍼 회전에 의한 변칙 인피드방식 (DRY POLISHING)◆ 3축 4척 테이블 구조의 채용과 반송부 레이아웃의 최적화, 베큠 유닛 내장◆ Max ø200mm◆ 다공성(porous) 척 테이블◆ 웨이퍼내 두께 편차（㎛） : 3.0이하(Z1, Z2축 연삭 만일 경우: 3.0이하)◆ 웨이퍼간 두께 편차（㎛） : ±3.0이하(Z1, Z2축 연삭 만일 경우: ±3.0이하)◆ 표면 거칠기（㎛） : Ra 0.005이하 (AFTER DRY POLISHING)