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- 박막두께 측정 시스템
- i-Tube No. 0804-F-0081
- NTIS No NFEC-2009-10-072570
- 설치기관 (재)서울테크노파크
- 주소 서울 노원구 공릉동 172번지 서울테크노파크 604호
- 담당자 윤원호 (T. 02-944-6026 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Nanometrics. Inc
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모델 명
Nanospec-3000
내용연수11년
-
구분
주장비
용도시험
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표준 분류
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 길이측정장비
-
취득일
2008-04-22
취득금액49,942,920원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료20,000원
장비설명
Wafer 상 polymer, Thin＆Thick PR Film, SiO2, Si3N4등 박막 두께 측정 장비 multi-layer 측정 가능
장비 구성 및 성능
◆ Number of Films : Up to 3 layers ◆ Detector resolution : 1,024 ◆ Film Thickness range : 2nm ∼ 35㎛ ◆ Measurement times : less than 1 sec ◆ Wavelength range : 400nm ∼ 800nm ◆ Reproducibility : less than 2Å
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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