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- i-Tube No. 0805-C-0038
- NTIS No NFEC-2008-08-065116
- 설치기관 서울대학교
- 주소 서울특별시 관악구 관악로 1 (신림동, 서울대학교)
- 담당자 박유경 (T. 02-880-8645 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
DISCO
-
모델 명
DAD3350
내용연수11년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-05-27
취득금액121,365,840원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료30,000원
장비설명
고속회전 스핀들에 절단용 블레이드를 장착하여 웨이퍼등의 피절단물을 절단하는 장치이다.
Pattern 간격이 최서 선폭 250um 이상이 아닐 경우 장비담당자와 협의할 것. Cutting Width : 50um
장비 구성 및 성능
AUTO METHIC Dicing Saw , 고속회전 스핀들에 절단용 블레이드를 장착하여 웨이퍼등의 피절단물을 절단하는 장치이다. Cutting Width : 50um ..
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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