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- 급속 열처리 장치
- i-Tube No. 0805-C-0036
- NTIS No NFEC-2008-08-065115
- 설치기관 서울대학교
- 주소 서울특별시 관악구 관악로 1 (신림동, 서울대학교)
- 담당자 박유경 (T. 02-880-8645 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
코리아바큠테크
-
모델 명
KVR-3006T
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-05-30
취득금액96,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
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사용료 형태
건별
장비 사용료80,000원
장비설명
heating lamp 를 이용하여 anneal 및 thin oxidation, alloy processing을 진행
Vacuum 상태에서 급속한 열처리로 Annealing, Alloy 공정 가능
장비 구성 및 성능
10sec 내에 1000도 까지 급속 heating기타 수소,산소gas 를 이용한 alloy, thin oxidation 가능 총 공정 time은 60sec이하 공정만 가능함 도달압력 : 9*10-6 Torr까지이며, 공정은 Dry pump로 전환함
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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