㈜케이맥
ST4000-DLX
10년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2008-12-19
100,000,000원
고정형
건별
67,000원
측정 가능한 박막의 종류 :실리콘 산화막, 질화막, 폴리실리콘, Posi/Nega 포토레지스트3층 이하의 적층 박막에서 최상층박막
측정 가능한 박막의 종류 :실리콘 산화막, 질화막, 폴리실리콘, Posi/Nega 포토레지스트3층 이하의 적층 박막에서 최상층박막 측정범위 : 100Å∼25um측정가능 패턴 사이즈 : 50um Diameter 이상의 PatternLamp : 390∼800nm 대역의 텅스텐 Lamp(6V/15W) Microscope & Objectives : 10X Objective . Up to 150mm Stage150mm Standard Wafer