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- i-Tube No. 0801-C-0050
- NTIS No NFEC-2008-09-068375
- 설치기관 인제대학교산학협력단
- 주소 경남 김해시 어방동 인제대학교
- 담당자 이제원 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
㈜아티스
-
모델 명
ATIS-01
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
-
취득일
2008-01-11
취득금액42,500,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료25,000원
장비설명
Wet Bath
장비 구성 및 성능
6" batch process type - 1 Teflon reaction bath6“ single wafer process type - 1 Teflon reaction bath with teflon heater, level sensor, temperature sensorQuick Dump Rinse(QDR) bath Chemical drain bath normal washing bathTouch screen type operation mode applied
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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