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- i-Tube No. 0707-Z-0144
- NTIS No NFEC-2007-11-047923
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6,(오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
에스브이에스 주식회사
-
모델 명
MSX200
내용연수5년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 트랙장비
-
취득일
2007-07-18
취득금액666,600,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료138,875원
장비설명
○ Substrate : Max. 200 mm × 200 mm - Wafer handling size : 4, 6, 8 inch - Glass handling size : 150 × 150, 200 × 200 mm - Glass spin module : Air barrier spin - Transfer robot module : Dual finger arm
장비 구성 및 성능
○ 디스플레이/반도체 photo 공정에서 SEMI Auto로 PR Spin coating 및 Spin Developing 그리고 Bake할 수 있도록 일괄공정이 가능하게 구성 - 대응 Size : 4 ~ 8 inch wafer/glass
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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