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- i-Tube No. 0706-Z-0181
- NTIS No NFEC-2008-08-063693
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6,(오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
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예약가능여부
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장비정보
-
제작사
(주)아티스
-
모델 명
SemiAuto Wet station
내용연수5년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2007-06-29
취득금액352,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
73,333원
장비설명
○ PR strip Wet station : PR(1,3), PR(2,4), ACETONE, IPA, QDR, F/R - 대응 Size : piece ~ 8 inch wafer/Glass 1 casstte - Operation method : Touch Panel Control - SUS ULTRA SONIC, Mega SONIC, 비저항계
장비 구성 및 성능
○ Process Chemical을 이용해서 strip 시키고자하는 Film과 화학 반응을 일으켜 용해시켜 strip하는 공정 - 대응 Size : piece ~ 8 inch wafer/glass
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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