에이피텍(주)
Quanta 200 FEG
5년
주장비
계측
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2008-07-18
466,491,831원
고정형
97,186원
1. Vacuum The system must be freely and simply be switched between three vacuum modes, which enables investigation of conductive, non-conductive and high-vacuum incompatible materials a. High-vacuum mode: <6*10-4 Pa or better for imaging and microanalysis of conductive and/or conventionally prepared specimens. b. Low-vacuum mode: 10 to 130 Pa or better for imaging and microanalysis of non-conductive specimens without preparation c. ESEM mode: 10 to 4000 Pa or better for high-vacuum incompatible specimens which are impossible to investigate with traditional EM methods.
○ ESEM에서 비 전도성 시료를 고진공에서 전처리 없이 관찰 - SEM 이미지 및 길이, 각도, 면적 측정이 가능하여 기본적인 분석가능 - 계면의 미세구조 및 표면관찰, 화학분석 등의 빠른 분석이 가능