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- i-Tube No. 0809-Z-0050
- NTIS No NFEC-2011-01-142846
-
설치기관
나노융합실용화센터
((재)대구테크노파크나노융합실용화센터)
- 주소 대구광역시 달서구 성서공단로 46-17,대구테크노파크 나노융합실용화센터(대천동)
- 담당자 최경식 (T. 053-591-0749 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
글로셈
-
모델 명
Wet Station
내용연수10년
-
구분
부대장비(부가장치) (주장비:사진식각공정시스템)
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-09-17
취득금액53,322,720원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료30,000원
장비설명
1. Acid Wet Station- 적용 Wafer : ~6 inch- 장비 Demension : W1500*D1100*H2100- DIW 배관 : Clean PVC, PFA tube(Air valve out~Bath)- BOE Bath : PTFE, 순환시스템, 온도센서(PT 100ohm)- H2SO4 bath : Quartz, In-line heater(120℃ ± 5℃)- QDR bath : N2 Boble, Quick drain- DIW gun, N2 gun, Goose neck2. Metal Wet Station- 적용 Wafer : ~6 inch- 장비 Demension : W1500*D1100*H2100- DIW 배관 : Clean PVC, PFA tube(Air valve out~Bath)- Develop Bath : SUS316, Dip방식- QDR bath : N2 Boble, Quick drain- DIW gun, N2 gun, Goose neck * 외부 전원 220V/ 60Hz 1 phase, 3KVA * 장비 내 메인 누전 차단기 설치 * 주변 진동 발생형 장비와 함께 설치를 피함.
장비 구성 및 성능
1. Acid Wet Station- 적용 Wafer : ~6 inch- 장비 Demension : W1500*D1100*H2100- DIW 배관 : Clean PVC, PFA tube(Air valve out~Bath)- BOE Bath : PTFE, 순환시스템, 온도센서(PT 100ohm)- H2SO4 bath : Quartz, In-line heater(120℃ ± 5℃)- QDR bath : N2 Boble, Quick drain- DIW gun, N2 gun, Goose neck2. Metal Wet Station- 적용 Wafer : ~6 inch- 장비 Demension : W1500*D1100*H2100- DIW 배관 : Clean PVC, PFA tube(Air valve out~Bath)- Develop Bath : SUS316, Dip방식- QDR bath : N2 Boble, Quick drain- DIW gun, N2 gun, Goose neck * 외부 전원 220V/ 60Hz 1 phase, 3KVA * 장비 내 메인 누전 차단기 설치 * 주변 진동 발생형 장비와 함께 설치를 피함.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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