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- i-Tube No. 0804-C-0071
- NTIS No NFEC-2008-09-062660
- 설치기관 한밭대학교산학협력단
- 주소 대전광역시 유성구 동서대로 125
- 담당자 양준모 (T. 042-366-1523 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Woosung HV
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모델 명
6” Vacuum Furnace
내용연수10년
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구분
주장비
용도생산
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표준 분류
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 오븐
-
취득일
2008-04-29
취득금액58,117,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
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사용료 형태
건별
장비 사용료50,000원
장비설명
Si에 불순물을 확산시킬 수 있는 확산용 전기로로서 Si과 Si3N4막 등의 성장이 가능
장비 구성 및 성능
○ Wafer size : 6-inch
○ Wafer Capacity : 25ea
○ Max Temp : 1,000℃
○ Gas : NH3, PH3, SiH4, DCS, N2
○ Vacuum Level : 10-3 torr
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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