○ AFM <0.5Å RMS, Vertical Resolution : 0.1Å, Lateral Resolution : 1Å
○ STM <1 ㎛, 원자와 표면 사이의 전류에 의한 힘을 이용해 표면을 관찰/측정하는 장비
○ C-AFM <통전이 되는 물체의 표면을 AFM을 통해 관찰하여 pA`~uA까지 I-V가 측정가능한 장비