* 한글 장비명 : 고정밀 마스크 얼라이너

* 영문 장비명 : Mask Aligner

* 장비 단축명 : 마스크얼라이너

* 모델명 : MA8

* 제조사 : Suss MicroTec Lithograph GmbH
* 특징

- 다양한 공정에 응용 가능한 범용 Mask aligner

- Modular 디자인

- 정밀한 포커싱을 위한 넓은 초점 조정 범위

- Top side Alignment 및 Bottom side Alignment

- IR alignment

- Bond Aligner 로 사용이 가능함

- 최대 substrate 크기: 6“x6“

- UV 400, UV300, UV 250, UV 200(Excimer laser)

- Substrate 수평 최적화 시스템

- 높은 공정 수율과 마스크 보호를 위한 정확하고 정밀한 gap setting

- 셋업 시간을 줄이고 공정의 재연성을 향상시키기 위한 파라미터 및 프로그램 저장 가능