전자총에서 전자빔을 발생, 가속시켜 시료에 조사한 후,시료 표면에서 발생되는 2차전자, 후방산란전자 등을
이용하여 미세한 표면의 요철 및 조성상을 관찰
- Resolution : 1.0nm at 15kV
- Magnification : x 20 to x 800,000
- Accelerating voltage : 0.1 to 30 kV
- Electron gun : Cold-cathode field emission type

- EDS : Detectable elements - 4Be to92 U