* 한글 장비명 : 스핀코터


* 영문 장비명 : Spin Coater

* 장비 단축명 : 스핀코터

* 모델명 : Delta 12RC

* 제조사 : Suss MicroTec Lithograph GmbH

* 특징

-8”(Ø 200mm) 까지의 wafer 및 6” x 6” (150mm x 150mm) 까지의 substrates 공정용 스핀 코터

- 3가지 타입 (3”, 5”, 8” 옵션)의 GYRSET?? 시스템과 Open bowl Spin 을 이용하여 다양한 공정에 대한 연구 및 응용이 가능

- 7,000 rpm 까지 적용이 가능한 Brushless servomotor

- Controller 에 40 step 및 최대 16개까지 recipe 저장 가능

- Clear text light 타입의 LCD display

- 쉽고 편한 load/unload 를 위한 Standard chuck indexing 기능

- GYRSET?? 의 장점
+ 다양한 모양을 가진 substrate 에 대해 균일하고 일정한 coating 가능
+ Substrate 와 wafer 표면에 형성된 패턴의 영향을 최소화하여 coating
+ 최대 60%까지 resist 소모량 절약 (Cyclotene™ resist)
+ Edge build-up을 최소화