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- i-Tube No. 0803-C-0033
- NTIS No NFEC-2008-09-067489
- 설치기관 재단법인구미전자정보기술원
- 주소 경북 구미시 산동면 첨단기업1로 17
- 담당자 신한재 (T. 054-479-2116 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
선에벤테크
-
모델 명
MSC-08
내용연수9년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
-
취득일
2008-03-21
취득금액126,204,770원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료60,000원
장비설명
* 한글 장비명 : 습식세정장치
* 영문 장비명 : Wet Staiton
* 장비 단축명 : 습식세정장치
* 모델명 : MSC-08
* 제조사 : 선에밴테크
* 구입연도 : 2007
* 담당자 : 김삼수
* 설치장소 : 구미전자정보기술원 진흥관 612호
장비 구성 및 성능
* 장비성능1. Bath : 7ea2. Acid, Organic, Waster bath3. Auto moving using robot arm4. Auto pumping and draining5. 웨이퍼 세정 후 부속 장비를 이용한 균일한 건조 가능6. 웨이퍼의 사이즈별 지그 셋팅 가능
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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