* 한글 장비명 : 전자빔 증착장비

* 영문 장비명 : E-beam Evaportator

* 장비 단축명 : 전자빔증착장비

* 모델명 : TGE-2000

* 제조사 : 다다 TG

* 상세설명

전자빔 증착(e-beam evaporation)은 전자빔을 이용하여 증착하는 박막 제조 장치이다.

박막의 성막에서 일정한 위치에서 나노입자가 신뢰성 있게 결합할 수 있도록 하는 것이 중요하며 전자빔으로 유도된 증착(Electron-beam induced deposition, EBID)은 이것을 가능하게 한다.