다다TG
TGO-2000
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2008-03-13
311,331,120원
고정형
시간별
100,000원
* 한글 장비명 : OLED용 유기박막증착장치
* 영문 장비명 : Organic Evaporator
* 장비 단축명 : 유기박막증착장치
* 모델명 : TGO-2000
* 제조사 : 다다 TG
* 상세 설명
- 유기물질을 박막 증착과 같이 온도를 올려서 열을 가해주어서 기화되서 이동하여
기판에 증착이 되는 형식이다.
- 일정온도까지는 변화가 없는 유기물질만 가능
- 유기 박막 트랜지스터와 같은 소자 제작시 사용함.
Dri Lab (본체) : 1인 본체 1대, 2인 본체 1대
Automatic Pressure Controller : 1 set
Photohelic Gauge S/W Range : ±5" of H2O
충진물 : Molecular Sieve (oxygen Scavengers)
Blower : 40 CFM 220V / 60 Hz
Speed Control: 0.75kw Inverter
H2O/O2 : 1 ppm 이하