* 한글 장비명 : 유도결합플라즈마식각장치

* 영문 장비명 : ICP Etcher System

* 장비 단축명 : 유도결합플라즈마식각장치

* 모델명 : REDOX- 200

* 제조사 : 포올


* 상세설명

‘inductively coupled plasma(고주파 유도 결합 플라스마)’의 약어

고주파 코일의 축을 따라 아르곤 등의 불활성 기체와 분무 시료의 혼합물을 흘림으로써 전자적(電磁的)으로 플라스마 상태를 생성시켜, 이에 의한 발광을 광원으로 사용하는 것.