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- i-Tube No. 0810-Z-0030
- NTIS No NFEC-2010-09-083645
- 설치기관 광주과학기술원
- 주소 광주광역시 북구 첨단 과기로 123 (오륜동) 광주과학기술원
- 담당자 장혁재 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Coherent
-
모델 명
Innova 305
내용연수5년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2008-10-27
취득금액31,900,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
장비 구성 및 성능
특징
레이저의 간섭현상을 이용한 submicron-구조의 lithograpy 공정에 활용됨.
구성및성능
레이저 및 셔터와 각종 광학계로 구성되어 레이저 간섭이 샘플 표면에서 일어날 수 있도록 조절할 수 있음.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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