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- i-Tube No. 0811-C-0026
- NTIS No NFEC-2010-12-086123
- 설치기관 경희대학교산학협력단
- 주소 경기도 용인시 기흥구 덕영대로 1732(서천동 1) 경희대학교 산학협력단
- 담당자 김지숙 (T. 031-201-3295 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
IPS
-
모델 명
IPSALD/CVD
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-11-04
취득금액250,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료170,000원
장비설명
TFT 소자 제작을 위한 다양한 물질의 증착공정에 이용되며 플렉시블 디스플레이의 기재필름인 다양한 플라스틱 재료의 barrier 막 코팅 공정 및 OLED 소자의 encapsulation 성능 개선을 위한 공정에 이용된다.
장비 구성 및 성능
·구성및성능
- Stage heater temp. : Max. 600℃
- Substrate size : 150 x 150mm
- Gas box : Liquid Source 용 2 Canister/1000cc
- 사용 Gas : NH3 O2 Ar N2
- ALD Function 가능
- 박막형성물질 : SixNy SiOx SiNy Al2O3 등
- CSK사양
- TEOSNH3O2ArN2 Gas 사용
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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