나칸
C200Z
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2008-10-28
99,730,620원
기관의뢰
고정형
건별
95,000원
유리 및 플라스틱 substrate 상에 다양한 유기 박막을 균일하게 전면 도포하거나 일정한 패턴을 형성하기 위해 이용된다.
기판에 1 um 이하의 두께로 코팅이 가능한 다양한 유기물의 박막도포용 공정장비이다.
구성및성능
Working Size
- Length / Width (max) : 200mm / 200mm
- Thickness : 0.4 - 1.1 mm
Capacity
- Coating speed : 15 sec / sheet
- Coating thickness : 800? ± 10%
Plate
- APR plate : 2.24 mm
- cut down : 2.14mm
Roll
- Anilox Roll : Φ 400 mm Pyramid 400 l/inch
- Doctor Roll : Φ 370 mm EPDM rubber
Dispensor
- Size : 500cc
- Materials : PP bottle
- Timer : yes