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- i-Tube No. 0801-C-0029
- NTIS No NFEC-2008-07-058139
- 설치기관 경북대학교
- 주소 대구광역시 북구 대학로 80 (산격동, 경북대학교) 공대8호관 1층 106
- 담당자 윤근병 (T. 053-950-7588 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
㈜알파플러스
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모델 명
Vacuum chamber module 외
내용연수12년
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구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-01-30
취득금액332,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료25,000원
장비설명
플렉서블 디스플레이용 표면 개질막 및 TFT Backplane 유기전도막 증착
장비 구성 및 성능
Pumping Unit : RP, CP. Target Size: 93*433*1 mm/4t. Substrate Size: 200*200 mm
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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