- 정반,프로빙, 기어및 자동측정프로그램, 스캔프로그램
- 초정밀 급에서 측정가능한 제품의 하중과 크기가 최대 사양임
[ 측정영역(W X D X H) : (1200 X 2200 X 900)mm, 하중 : 2250kg)]
- 자동 스케닝 모드 지원
- 측정 에러(E) : 1.5L/350um (L:mm)
- 프로빙 에러(P) : 1.5um
- 스캐닝 에러(THP) : 2.1um / 45sec