NEUTRONIX/QUINTEL
200/350Watt
6년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2007-04-03
101,890,600원
고정형
시간별
0원
노광 공정 장비
교육부/산업자원부 지원 과제명:고부가가치 산업인력 특별양성사업(디스플레이 분야) 특징:노광기는 반도체나 TFT LCD 공정에서 포토마스크에 빛을 쪼여 웨이퍼나 LCD 기판에 회로를 형성하는 장비 (고에너지 자외선 발생 장치)
노광시스템
구성및성능 Contact/Proximity Alignment - 60-100 WPH Infrared Backside Alignment Dual Channel Light Integration or C.I. Fiber Optic Illumination High Resolution Video