청정실 내부에서 진행되는 여러가지 실험들 중에서 가장 선행되어야 하는것인 기판의 세정에 주로 사용되는 장비이다. 오염되어 있는 기판을 wet station내부에서 DI Water, IPA, 아세톤 등의 여러가지 용액등을 이용하여 안전하게, 편안하게 세정할 수 있도록 하는 장비이다. 대부분이 녹이슬지 않으며 화학적으로도 안정성을 나타내는 물질로 구성되어있다.