반도체 특성을 측정하는 시스템으로서 프로그램에 의해서 basic semiconductor parameter를 측정할 수 있는 장비이다.소자에 전류와 전압을 인가하여 등의 를 I-V curve parameter 측정하여 소자의 특성을 측정한다 또한 stress mode 를 사용하여 고전압 인가시에 소자에 나타나는 특성 등을 알 수 있다.광범위한 주파수 대역에서의 각종 전송특성을 분석해주는 장비이다.