DC Sputter 장비 왼쪽에 3개의 가스라인이 설치되어 있으며, Ar, O2, N2 gas가 들어간다. 조작은 주로 Touch panel LCD에서 이뤄지고 Sputtering은 Chamber내에서 실시된다. Chamber내부를 관찰할 수 있는 view-port가 정면과 오른쪽 측면 하나씩 총 2개가 설치되어 있다. 장비 하단에 있는 양쪽 문 개방시 좌측에는 Temperature 센서, TMP Controller, DC Generator, RF Generator가 있으며, 오른쪽에는 진공 Gauge가 있다.