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- (웨이퍼세정장치)Wet Station CVD
- i-Tube No. 0712-Z-0217
- NTIS No NFEC-2011-01-134401
- 설치기관 한국전자통신연구원
- 주소 대전 유성구 가정동 한국전자통신연구원 가정로 218
- 담당자 노태문 (T. 042-860-6272 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
아티스
-
모델 명
Wet Station CVD
내용연수3년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2007-12-24
취득금액218,460,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
장비 구성 및 성능
.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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