특징 1. Burn chamber system - 2개의 독립적인 Heater (Kanthal Heater) 및 thermo couple 구성 - 외부에서 Heater 교체 가능(사용자가 쉽게교체 가능하게 구성) - 열차단을 위한 이중벽 구조 설계 - 고온의 Burn chamber 와 습기가 많은 wet chamber 경계 부분에 air curtain 설계하여 발생하는 powder 적체 방지 구조설계 - 폭발에 안전한 설계 구조로 설계 (Wet chamber 완충장치 역할)2. Wet chamber system - Wetting 공간 2중벽 absorber zone 설계 - powder막힘 방지 및 처리 효율 높게 구성 - 2개 이상의 target spray nozzle 구성 - 1개 이상의 self-cleaning water nozzle 구성 - material:Stainlessteelabsorber사용 - wate수위 자동 조절 센서- 전극봉 타입 센서 사용3. Exhaust line - 3rdabsorber Zone구성 -Mist방지를 위한 pipe형 nozzle 사용 - Supply Freshwater 구성 (최종 wetting Zone) - 출구 압력계 설치태양전지 제조용 불순물(도판트)확산 장치의 부속 장비로서, 고온에서 Si 기판에 인 (Phosphorous)을 확산시켜 pn 접합을 형성하는 과정에서 발 생하는 유해 가스를 고온으로 분해시키거나 물에 녹여 무해하게 변환하여 처리하는 장비. 구성및성능 (1) Inlet port