구성및성능
파이로리틱탄소코팅장비
“개요 : 장비는 흑연재, 탄소재, 세라믹소재를 탄소원 가스(CH화합물)을 불활성 분위기중에 열처리하여 파이로리시스(열분해)가 일어나게 하여 탄소를 코팅하는 장비임
구성 : 탄소원 가스(CH화합물)을 공급해주는 장비, 가스를 제어하는 제어부, 흑연재로 구성된 열분해시스템 내부, 가열된 몸체를 식혀주는 수냉식 냉각부, 온도를 제어해주는 제어부로 구성됨
성능 : 최대 2000도까지 상승, 가스주입구 3개식(상부, 중앙, 하부), 질소가스, 아르곤가스 사용, 흑연발열체
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