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- 마모면 3차원형상 측정장치
- i-Tube No. 0710-Z-0178
- NTIS No NFEC-2008-08-063662
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 인천광역시 연수구 갯벌로 156 (송도동, 한국생산기술연구원)
- 담당자 박민정 (T. 032-850-0518 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
OLYMPUS CORPORATION
-
모델 명
OLS3100
내용연수5년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
-
취득일
2007-10-18
취득금액89,450,953원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료15,000원
장비설명
OLS3100은 아래 그림과 같이 LD laser(408nm)가 장착된 “3차원 미세형상 분석시스템” 장
비로서 최저 120배에서 최고 14,400배의 형상관찰은 물론, CCD 및 PMT (Photomultiplier)
가 내장되어있어 각종 3차원 형상 분석뿐 아니라 여러가지 측정(표면 거칠기 및 단차 측정
등)이 가능한 시스템입니다.
장비 구성 및 성능
408nm UV optical system
408nm전용 광학계를 독자 개발.
408nm의 성능을 최대한으로 이끌어내는데 성공, 최고의 분해능을 제공.
세계 최고 수준의 평면 분해능 0.12um
0.12um의 line & space에 있어, line 하나하나를 선명하게 분해.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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